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Elektronenstrahl-Mikroanalyse von Kohlenstoff. V

✍ Scribed by Weisweiler, Werner

Publisher
Springer-Verlag
Year
1975
Weight
911 KB
Volume
64
Category
Article
ISSN
0344-838X

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## Abstract Zur Ermittlung der Lokalkonzentrationen von Ga, Al und As in Ga~1−__x__~Al~__x__~As‐Epitaxieschichten aus den Röntgenstrahlintensitäten bei der ESMA wurden mehrere Korrekturverfahren überprüft. Die genauesten Ergebnisse werden durch Kombination der Methode von BIRKS für die Al‐Korrektur