Quantitative Bestimmung der Zusammensetzung von Ga1−xAlxAs-Epitaxieschichten mit der Elektronenstrahl-Mikroanalyse (ESMA)
✍ Scribed by Dr. P. Streubel; G. Martius; Dr. K. Jacobs
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1974
- Tongue
- English
- Weight
- 515 KB
- Volume
- 9
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Abstract
Zur Ermittlung der Lokalkonzentrationen von Ga, Al und As in Ga~1−x~Al~x~As‐Epitaxieschichten aus den Röntgenstrahlintensitäten bei der ESMA wurden mehrere Korrekturverfahren überprüft. Die genauesten Ergebnisse werden durch Kombination der Methode von BIRKS für die Al‐Korrektur mit der Methode nach DUNCUMB/REED/SPRINGER für die Ga‐Korrektur erhalten. Dabei beträgt die relative mittlere Abweichung von 50% für die Summe der Gallium‐ und Aluminium‐Atomprozente nur −0,1%. In einem Anhang werden für den praktischen Gebrauch erforderliche Gleichungen zur gegenseitigen Umrechnung von Gewichts‐ und Konzentrationsangaben in dem betrachteten System angegeben.