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Einsatz des Spiegel-Elektronenmikroskops zur Untersuchung dielektrischer dünner Schichten

✍ Scribed by Prof. Dr. J. Heydenreich; J. Vester

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1974
Tongue
English
Weight
872 KB
Volume
9
Category
Article
ISSN
0232-1300

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✦ Synopsis

Abstract

Es wird eine Untersuchungsmethodik für die Abbildung von Ladungsinhomogenitäten in Isolatorschichten mit dem Elektronenspiegel‐Mikroskop beschrieben. Die mitgeteilten experimentellen Ergebnisse, welche sich in halbquantitativer Form auswerten lassen, betreffen vor allem Siliziumoxid‐Aufdampfschichten.

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## Abstract Durch Schrägbestrahlung und Verwendung charakteristischer Strahlung kann man eine einkristalline dünne Schicht einer röntgenographischen Orientierungsbestimmung auf einem Substrat zugänglich machen. Bei definierter Bewegung von Schicht und Zählrohr sind die entsprechenden Lauereflexe ge