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Eine Methode zur röntgenographischen Orientierungsbestimmung dünner einkristalliner Schichten auf einem Substrat, angewandt bei der Untersuchung von Tantal auf Saphir

✍ Scribed by Dr. S. Meyer; Prof. Dr. habil. H. G. Schneider


Publisher
John Wiley and Sons
Year
1973
Tongue
English
Weight
287 KB
Volume
8
Category
Article
ISSN
0232-1300

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✦ Synopsis


Abstract

Durch Schrägbestrahlung und Verwendung charakteristischer Strahlung kann man eine einkristalline dünne Schicht einer röntgenographischen Orientierungsbestimmung auf einem Substrat zugänglich machen. Bei definierter Bewegung von Schicht und Zählrohr sind die entsprechenden Lauereflexe genau bestimmbar und ermöglichen eine vollständige Orientierungsangabe. Die Methode und Besonderheiten der Auswertung werden beschrieben. Diese Methode wurde für Orientierungsbestimmungen an einkristallinen Tantalschichten auf Saphir angewendet.