Einsatz des Spiegel-Elektronenmikroskops
✍
Prof. Dr. J. Heydenreich; J. Vester
📂
Article
📅
1974
🏛
John Wiley and Sons
🌐
English
⚖ 872 KB
## Abstract Es wird eine Untersuchungsmethodik für die Abbildung von Ladungsinhomogenitäten in Isolatorschichten mit dem Elektronenspiegel‐Mikroskop beschrieben. Die mitgeteilten experimentellen Ergebnisse, welche sich in halbquantitativer Form auswerten lassen, betreffen vor allem Siliziumoxid‐Auf