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Einfluß der Probenoberfläche auf den Gasanalysenwert UF-gebundener Spanplatten

✍ Scribed by E. Roffael; C. L. Ong


Book ID
110603358
Publisher
Springer-Verlag
Year
1987
Tongue
English
Weight
87 KB
Volume
45
Category
Article
ISSN
0018-3768

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## Abstract Die Ergebnisse ellipsometrischer Messungen an GaAs zeigen einige Diskrepanzen. Diese Tatsache wird auf Oberflächenrauhigkeiten zurückgeführt und an Hand eines einfachen Modells diskutiert. Es wird gezeigt, in welcher Art und Weise eine rauhe Oberfläche die ellipsometrisch gemessene Film