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Der Einfluß der Rauhigkeit der Probenoberfläche auf die Ergebnisse ellipsometrischer Messungen bei GaAs

✍ Scribed by Dipl.-Krist. K. Löschke; Dr. G. Kühn

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1976
Tongue
English
Weight
453 KB
Volume
11
Category
Article
ISSN
0232-1300

No coin nor oath required. For personal study only.

✦ Synopsis

Abstract

Die Ergebnisse ellipsometrischer Messungen an GaAs zeigen einige Diskrepanzen. Diese Tatsache wird auf Oberflächenrauhigkeiten zurückgeführt und an Hand eines einfachen Modells diskutiert. Es wird gezeigt, in welcher Art und Weise eine rauhe Oberfläche die ellipsometrisch gemessene Filmdicke und den Brechungsindex beeinflußt.

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