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Eine Elektronenstrahltechnologie zur Herstellung dünner Schichten hoher Reinheit

✍ Scribed by Dr. E. Seidowski; Dipl.- Ing. V. L. Laska; Doz. Dr. V. P. Ledovskoj; Dipl.- Ing. H. M. Leont'eva; Doz. Dr. M. Tierok

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1976
Tongue: English
Weight: 455 KB
Volume: 11
Category: Article
ISSN: 0232-1300
DOI: 10.1002/crat.19760111205

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