Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein groΓer Bedarf hins
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Ein Verfahren zur numerischen Analyse der relativen Feuchte
β Scribed by Andreas Kaestner
- Publisher
- Springer
- Year
- 1974
- Tongue
- English
- Weight
- 559 KB
- Volume
- 23
- Category
- Article
- ISSN
- 1436-5065
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