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49. Analyse eines Beschichtungsverfahrens zur Magnetbandherstellung mit Hilfe der numerischen Simulation

✍ Scribed by Dr.-Ing. N. Gilbert; Dipl.-Ing. H.-G. Wagner; Dipl.-Ing. P. Nagel


Publisher
John Wiley and Sons
Year
1993
Tongue
German
Weight
132 KB
Volume
65
Category
Article
ISSN
0009-286X

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Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hins