Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Sim
✍
G. Brenner; M. Mukinovic; E. Mesic; R. Schmid; M. Tafipolsky; J. Khanderi; R. A.
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Article
📅
2006
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John Wiley and Sons
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German
⚖ 662 KB
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hins