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Eigenschaften dünner glimmpolymerisierter schichten

✍ Scribed by Horst Pachonik; Gerhard Seebacher

Book ID: 107862169
Publisher: Elsevier Science
Year: 1976
Tongue: English
Weight: 547 KB
Volume: 38
Category: Article
ISSN: 0040-6090
DOI: 10.1016/0040-6090(76)90012-2

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## Abstract In Abhängigkeit von der Substrattemperatur und der Schichtdicke wird die Hochvakuumaufdampfung von TiO~2~ auf luft‐ und vakuumgespaltenen NaF‐, NaCl‐ und NaBr‐ Substraten untersucht. Bei geringen Substrattemperaturen scheidet sich amorphes TiO~2~ ab, bei höheren Temperaturen treten zwei