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Der Nachweis dünner Fremdschichten auf Kontaktoberflächen

✍ Scribed by Dipl.-Phys. K. Beck; Dr. K.-L. Schiff

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1975
Tongue
English
Weight
554 KB
Volume
6
Category
Article
ISSN
0933-5137

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✦ Synopsis

Abstract

Der Nachweis dünner Verunreinigungsschichten auf Kontaktoberflächen wird bei den steigenden Anforderungen an die Qualität elektrischer Kontakte immer wichtiger. Am Beispiel mit Zink verunreinigter Kontaktoberflächen wird gezeigt, daß durch die Kombination von Kontaktwiderstandsmessungen und der Analyse der Oberfläche durch moderne Methoden auch sehr dünne anorganische Verunreinigungsschichten erfaßt und identifiziert werden können. Die spezifischen Oberflächenanalysenmethoden AES und SIMS sind natürlich besser geeignet als die Elektronenstrahlmikroanalyse.

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## Abstract Es wird die Züchtung von Heterostrukturen durch gerichtete Kristallisation einer dünnen Schmelzschicht im engen Raum zwischen zwei fremdartigen Substraten untersucht. Als Modellmaterialien wurden für die Dünnschicht Te, für das Halbleitersubstrat Ge bzw. CdS ausgewählt. Untersuchungen z