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Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics (1989 MRS fall meeting, Boston, MA)


Publisher
Elsevier Science
Year
1991
Tongue
English
Weight
117 KB
Volume
42
Category
Article
ISSN
0042-207X

No coin nor oath required. For personal study only.


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lagenforschung als auch der anwendungsorientierten Forschung beriicksichtigt. Die Ergebnisse experimenteller Untersuchungen sind dabei ebenso vertreten wie die Ergebnisse von computerunterstiitzten Modellrechnungen. Ergiinzt werden die Beitrlge durch eine Reihe von Invited Papers, welche eine Ubersi