Defektanalyse von a-C- und CNx-Schichten
✍
Wegelin Frederik; Christian Ziethen; Ralph Ohr; Marc Neuhäuser; Heinz Hilgers; G
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Article
📅
2001
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John Wiley and Sons
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English
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## Zusammenfassung Amorphe Kohlenstoff-und Kohlenstoffnitridschichten werden vielseitig als Schutzschichten in der Industrie verwandt. Insbesondere werden in der Magnetfestplattenspeicherindustrie verschleiûfeste sauerstoffundurchla È ssige Schutzschichten von wenigen Nanometern Dicke beno È tigt.