Zentralinstitut fiir Feetkorperphyeik nnd Werkstofforschung der Akndemie der Wiseenechnften der DDR, Dresden
Characteristics and Applications of the Precision Sample Current Microanalysis
Dedicated to Professor 0. BRUMMER on the occasion of his 65th birthday
The Sample Current Microanalysis allows the identification of binary and quasibinary constituents with a higher precision and accuracy of the analytical results and an improved spatial resolution in comparison to conventional microanalytical techniques (Electron Probe Microanalysis, Secondary Ion Microanalysis). The paper describes the additional equipment required for the utilization of this method in Electron Probe Microanalysers and Scanning Electron Microscopes and specifies the required boundary conditions for analyses of high precision. I n addition t o the application for typical characterization problems an evaluation of the limits of this method is given. Die Probenstrom-Mikroanalyse gestattet die Identifizierung biniirer und quasibinkrer Gefugebestandteile mit erhohter Genauigkeit und Richtigkeit der Analysenergebnisse bei verbesserter lateraler Auflosung im Vergleich zu herkommlichen Mikroanalysetechniken (Elektronenstrahl-Mikroanalyse, Sekundiirionen-Mikroanalyse). Es werden die fur die Nutzung des Verfahrens in Elektronenstrahl-Mikoanalysatoren und Raster-Elektronenmikroskopen notwendige Zusatzausriistung beschrieben sowie die erforderlichen Randbedingungen fiir Priizisionsanalysen angegeben. AuBer der Anwendung auf typische MeBprobleme erfolgt eine Einschiitzung der Grenzen dieser Methode.