Caractérisation électrique des structures SiSiC formées par implantations d'ions carbone sur du silicium monocristalline de type n

✍ Scribed by A. Mouhoub; J.A. Roger; P. Durupt; J. Pivot

• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1982
• Tongue: English
• Weight: 464 KB
• Volume: 97
• Category: Article
• ISSN: 0040-6090
• DOI: 10.1016/0040-6090(82)90220-6