Caractérisation électrique de couches enfouies de SiC obtenues par l'implantation d'ions carbone dans le silicium monocristallin

✍ Scribed by A. Mouhoub; J.A. Roger; P. Durupt; J. Pivot

• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1982
• Tongue: English
• Weight: 562 KB
• Volume: 88
• Category: Article
• ISSN: 0040-6090
• DOI: 10.1016/0040-6090(82)90331-5