Дефекты в кремнии и на его поверхности

✍ Scribed by Вавилов, Киселев, Мукашев.

• Book ID: 127425454
• Publisher: Наука
• Year: 1990
• Tongue: Russian
• Weight: 3 MB
• Series: Физика полупроводников и полупроводниковых приборов, ФПИПП
• Category: Library
• City: М
• ISBN-13: 9785020140233

✦ Synopsis

Рассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.