В книге обобщено современное состояние вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок.
Вакуумное оборудование для нанесения пленок
✍ Scribed by Минайчев Виктор Егорович
- Book ID
- 127402781
- Publisher
- Машиностроение
- Year
- 1978
- Tongue
- Russian
- Weight
- 877 KB
- Category
- Library
- City
- М.
No coin nor oath required. For personal study only.
✦ Synopsis
Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.
✦ Subjects
Вакуумная техника
📜 SIMILAR VOLUMES
Доклад подготовлен негосударственной организацией «Фонд исследования проблем демократии» (директор — М. С. Григорьев) и «Российским общественным советом по международному сотрудничеству и публичной дипломатии» (председатель — С. А. Орджоникидзе) при поддержке «Российского фонда мира» (Л. Э. Слуцкий,
Книга посвящена проблематике совершенствования внутрифирменного управления и учета. В качестве инструмента рассматриваются оптимизационные модели и методы. Особое внимание уделяется применению информационных технологий для оптимизации процедур функционирования.Книга адресована научным работникам, сп
Веселые повести украинского писателя Всеволода Нестайко рассказывают о закадычных друзьях, об приключениях и забавных открытиях. В каждой из его историй доброта одерживает победу с помощью юмора, уничтожает зло силой смеха.
Приведены физические основы получения безмасляногo вакуума, описаны методы получения низких температур, представлена методика расчета и проектирования вакуумных систем и криогeнных вакуумных насосов, описаны вакуумные и криогенные системы термоядерных установок. Для студентов, обучающихся по специал