Вакуумное нанесение тонких пленок

✍ Scribed by Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера

• Book ID: 127443956
• Publisher: Энергия
• Year: 1967
• Tongue: Russian
• Weight: 5 MB
• Category: Library
• City: М.

✦ Synopsis

В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.

✦ Subjects

Вакуумная техника