✦ LIBER ✦

Zur Versetzungsbildung an Ritzen auf einkristallinen Silizium-Oberflächen

✍ Scribed by Dr. F.-G. Kirscht; Dr. H. Richter; Dr. R. Baehr; C. Hansch; H.-D. Brocke

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1975
Tongue: English
Weight: 741 KB
Volume: 10
Category: Article
ISSN: 0232-1300
DOI: 10.1002/crat.19750101205

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✦ Synopsis

Abstract

Definiert geritzte (111)‐Scheiben wurden bei 850 °C und 1000 °C getempert und mittels Strukturätzen, Röntgentopographie und Elektronenmikroskopie untersucht. Es wird der Zusammenhang zwischen Versetzungsanordnung und dem erzeugenden Verspannungszustand diskutiert. Die elektronenmikroskopischen Beobachtungen lassen sich interpretieren, wenn man eine Reaktion unter Bildung von Lomer‐Versetzungen annimmt.

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