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Zur Theorie der Kathodenzerstäubung in der Glimmentladung

✍ Scribed by G. Ecker; K. G. Emeleus


Publisher
Springer
Year
1954
Tongue
English
Weight
300 KB
Volume
41
Category
Article
ISSN
0028-1042

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Untersuchung von Hartstoffschichten aus
✍ Dr. F. Stobiecki; Dr. T. Stobiecki; Prof. Dr. K. Röll; Dipl.-Ing. J. Zendehroud; 📂 Article 📅 1993 🏛 John Wiley and Sons 🌐 English ⚖ 653 KB

## Abstract Bei der Herstellung von Hartstoffschichten durch reaktives Zerstäuben ist es sinnvoll, die Zusammensetzung der Schicht bereits in‐situ während des Aufwachsens zu kontrollieren. Dieses Ziel wurde durch einen experimentellen Aufbau erreicht, bei dem die Analyse mit Hilfe der charakteristi