Quantitative Analyse von nichtstöchiomet
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Dr. rer. nat. H.-R. Stock; Dip.-Phys. F. Höhl; P. Mayr
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Article
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1995
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John Wiley and Sons
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English
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## Abstract Stahlbleche wurden mittles Gleichstrom‐Magnetron‐Sputtern mit Titannitrid beschichtet. Durch Variation des Stickstoffdurchflusses konnten Schichten mit unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung erhalten werden. Die Schichten wurden mittels Gimmentladungsspektroskopie und einer naßche