Zur Herstellung und Untersuchung einkris
✍
J. Herberger; F. Richter; H. Leistner; W. Prescher
📂
Article
📅
1973
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John Wiley and Sons
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English
⚖ 748 KB
## Abstract Die an Substrate für die Halbleiterepitaxie zu stellenden Forderungen werden diskutiert und unter diesem Gesichtspunkt die wichtigsten der bisher verwendeten einkristallinen isolierenden Substratmaterialien erörtert. Ausführlicher wird auf die Materialbesonderheiten des Mg‐Al‐Spinells e