Zur Errechnung der Intensitäten von Auger-Übergängen für die quantitative Analyse von Festkörperoberflächen mit der Augerelektronenspektroskopie (AES)
✍ Scribed by Dr. P. Streubel; Dipl.-Chem. R. Apelt
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1978
- Tongue
- English
- Weight
- 403 KB
- Volume
- 13
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
GemiiB einer empirischen Gleichung fur die Intensitat von charakteristischen Augerelektronen, die durch PrimarelektronenbeschuR aus einer Festkorperoberflache austreten, wurden die einzelnen Parameter Ionisierungsquerschnitt, relative Wahrscheinlichkeit des Augerprozesses, Ruckstreufaktor und mittlere Austrittstiefe der Augerelektronen fiir den L,M,,M,,-AugerprozeB der Elemente mit den Ordnungszahlen 2 = 22 bis 33 bestimmt. Ein Vergleich der berechneten relativen Intensitatswerte mit Meljwerten von PALMBERG et al. zeigt die gute ubereinstimmung im allgemeinen Kurvenverlauf der ordnungszahlabhangigen Intensitiiten. Die mittlere relative Abweichung der berechneten von den experimentellen Werten betragt 20% und kommt damit den bisherigen Abschiitzungen uber die Genauigkeit der quantitativen AES ohne iiuReren Standard nahe. Die Untersuchung des Einflusses der einzelnen Intensitatsparemeter ergab, daB vor allem der Ionisierungsquerschnitt uiid im gegebenen Fall auch die relative Wahrscheinlichkeit des Augerprozesses den Intensitiitswert bestimmen.
According to an empirical equation for the Auger elect,ron intensity arising from primary electron bombardment of solid surfaces, the parameters such as ionization cross section, relative Auger transition probability, backscattering factor and mean escape depth were evaluated for t,he L,M,M,, Auger transition of elements with atomic number 2 = 22 to 33. A comparison of the calculated relative intensities with experimental values from PALM-BERG et al. indicates a good agreement of both curves representing the intensity in dependence of atomic number. The mean relative deviation of calculated intensities from measured ones amounts to 20%. This is nearly the same value, as i t has been estimated so far for the accuracy of quantitative AES without standard. Examining the influence of individual intensity parameters we were able to show that above all the ionization cross section and in the present case also the relative Auger transition probability determine the value of intensity.