✦ LIBER ✦
Zum Einsatz der quantitativen Lichtmikroskopie bei der Versetzungsdichtebestimmung von GaAs-〈100〉-Kristallen
✍ Scribed by H. Richter; H. Fröhlich
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1976
- Tongue
- English
- Weight
- 498 KB
- Volume
- 11
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Abstract
Das Prinzip der Linearanalyse mit dem EPIQUANT ist für die metallographische Messung der Versetzungsdichte von GaAs‐〈100〉‐Kristallen anwendbar. Die linearanalytischen Meßdaten werden unter Verwendung von mathematisch‐statistischen Beziehungen in Flächendaten umgerechnet. Für große Versetzungsdichten ergibt die Registrierung des Schnittlängenanteils N~LE~ der Versetzungsätzgruben genauere Meßwerte gegenüber der Anzahl N~E~ der von der Meßlinie geschnittenen Versetzungsätzgruben.