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Zu einer neuen Methode des Trennschleifens von einkristallinen Halbleiterwerkstoffen

✍ Scribed by H. Seyfarth; F. Richter; W. Borchardt; G. Artopee; D. Frahnow

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1975
Tongue
English
Weight
436 KB
Volume
10
Category
Article
ISSN
0232-1300

No coin nor oath required. For personal study only.

✦ Synopsis

Abstract

Beim Innenboart‐Trennschleifen bringt eine zusätzliche Rotation des Werkstückes in verschiedener Hinsicht grundsätzlich neue Verhältnisse, die in ihren praktischen Auswirkungen diskutiert werden. Die Anwendung des rotierenden Kristalls gestattet es, wesentliche Informationen über die Wechselwirkung zwischen Werkzeug und Werkstück zu gewinnen. Andererseits können durch geeignete Wahl der Drehzahlen die Belastungsbedingungen des Trennboarts in einem weiten Bereich variiert werden. Beispiele für diese beiden Hauptanwendungsgebiete des Verfahrens werden beschrieben.

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