Zersetzung von CCl4 im HF-Niederdruckplasma für plasmachemisches Ätzen von Aluminium

✍ Scribed by H.-J. Tiller; R. Mohr; D. Berg; F.-W. Breitbarth; K. Dumke; R. Göbel

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1981
• Tongue: English
• Weight: 752 KB
• Volume: 21
• Category: Article
• ISSN: 0005-8025
• DOI: 10.1002/ctpp.19810210503