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Verfahren und Vorrichtung zur indirekten Bestimmung des Grundumsatzes von kleinen Versuchstieren

✍ Scribed by H. Petry; W. Kugler

Book ID
115147099
Publisher
John Wiley and Sons
Year
1990
Tongue
English
Weight
981 KB
Volume
63
Category
Article
ISSN
0931-2439

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## Abstract Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen tritt das Problem der Verkrümmung einkristalliner Scheiben auf, ein Ausdruck der im technologischen Prozeß mit jedem Bearbeitungsschritt zunehmenden Zerstörung der Kristallperfektion. Die Bestimmung der Verkrümmung kann folglich Aufschluß ü