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Verfahren und Versuche zur Bestimmung der Reibungsmomente rasch umlaufender Körper

✍ Scribed by K. Magnus


Book ID
110567933
Publisher
Springer
Year
1942
Tongue
German
Weight
993 KB
Volume
13
Category
Article
ISSN
0015-7899

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Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung
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## Abstract Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen tritt das Problem der Verkrümmung einkristalliner Scheiben auf, ein Ausdruck der im technologischen Prozeß mit jedem Bearbeitungsschritt zunehmenden Zerstörung der Kristallperfektion. Die Bestimmung der Verkrümmung kann folglich Aufschluß ü