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Untersuchung von pn-Übergängen mit und ohne Oxidschicht mittels Elektronenspiegelmikroskopie in Schattenabbildung

✍ Scribed by Prof. Dr. G. Becherer; Prof. Dr. R. Gradewald; Dipl.-Phys. F. Kuhlmann; Dipl.-Phys. P. Lieckfeldt


Publisher
John Wiley and Sons
Year
1973
Tongue
English
Weight
674 KB
Volume
8
Category
Article
ISSN
0232-1300

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✦ Synopsis


Abstract

Für die Abbildung der Proben setzt die Kontrastübersteuerung eine Grenze, die theoretisch und durch Aufnahmen demonstriert wird. Der Kontrast der pn‐Übergänge mit Oxidschicht im Bild in Abhängigkeit von der Querspannung wird mit Fotometerkurven und durch Rechnung demonstriert. Es wird die Aufnahme einer kreisförmigen, positiven Aufladung gezeigt, deren Kontrast eine gute Übereinstimmung mit den Rechnungen von Lenz und Krimmel besitzt.