Untersuchung von Heterostrukturen der Mischkristallreihe GaAs/AlAs mit dem Rasterelektronenmikroskop
✍ Scribed by Dr. H. Johansen; Dr. F. P. Herrmann
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1972
- Tongue
- English
- Weight
- 491 KB
- Volume
- 7
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Die Untersuchung von Heterostrukturen der Mischkristallreihe GaAs/AlA.s mit Hilfe verschiedener rasterelektronenmikroskopischer Techniken fiihrt zu dem Ergebnis, daI3 zum Nachweis von geringen Bandabstandsanderungen die Ausnutzung der Katodolumineszenz sehr geeignet ist. Der Vorteil, der sich gegenuber dem Sekundiirelektronenkontrast bzw. der Abbildung mit ruckgestreuten Elektronen hinsichtlich einer materialspezifischen Identifizierung ergibt. ist eindeutig. Der Verlauf des Intensitatsprofils bei steigender Primiirelektronenenergie erlaubt den Nachweis eines qualitativen Zusammenhanges zum Wert des Bandabstandes. Dies wird an zwei Heterostrukturen rnit stark unterschiedlicher Dotierung demonstriert. Mit Hilfe der Y-Modulationstechnik gelingt es, einen orientierungsabhangigen Anteil im Bildkontrast bei Homo-und Heteroubergangen von Mehrfachstrukturen nachzuweisen.