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✍ Scribed by Dietmar Linke

Publisher
Wiley (John Wiley & Sons)
Year
2010
Weight
242 KB
Volume
25
Category
Article
ISSN
0044-2402

No coin nor oath required. For personal study only.

✦ Synopsis

Das mitgeteilte Nichtreziprozitiitererhalten der Photwmpfindlichkeit dea AZ 2400 insbemndere bei KrF-(positiv) bzx-. bei N,-Laaer-Expoaition (negativ) ist damit wie folgt zu erklaren:

-Die Laseranregung fiihrt innerhalb der Puladauer zu einem Umscbhg dea Abaorptionsepektrums von dem dea 1,2Xaphthochinon-2-diazkh I zu dem dee &tens III.

-Die damit verbundene Abnahme dee Abmrptionagrades bei 248 nm bewirkt eiu optiachea Anfechah in diesem Welledangeubereich und damit ein leichterea Dnmhbeliohten dee Resist-.

h h die Ketenbildung venusscht nimmt die optieche Dichte bei 331nm Signiiktaut zu, waa die Durchbelichtung behindert (Filtemffekt). Wiederholte Pulsbelichtwn sind in diesem Falle -"rota Ketanbildung bleiben die optischen Dichten bei 308 nm und 361nm nahezu unveriindert, aeehelb bei Benutzung von aktinhhem Licht dieuer Wellenliinge vergleichbare Empfindliohkeiten bei Lampen-und bei Lneeranregung resultieren.

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