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Thermisches Bonden von Bauteilen aus mikrostrukturiertem Glas

✍ Scribed by St. Hecht-Mijic; A. Harnisch; D. Hülsenberg; S. Schundau; J. Pfeifer; Th. Schroeter

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 2003
Tongue: English
Weight: 257 KB
Volume: 34
Category: Article
ISSN: 0933-5137
DOI: 10.1002/mawe.200390129

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✦ Synopsis

Abstract

An der TU Ilmenau erfolgte die Entwicklung von mikrostrukturierbaren Gläsern und von mikrostrukturierbaren Gläsern mit besonderen p~H~‐sensitiven Eigenschaften. Die Gläser sind über eine UV‐Lithographietechnik mikrostrukturierbar. Zum Aufbau von chemischen Sensoren ist das Fügen von derartigen Glasbauteilen erforderlich. Im Beitrag werden das thermische Bonden als ein mögliches Fügeverfahren vorgestellt und Versuchsergebnisse diskutiert. Vorteile des Verfahrens sind die stabile Verbindungsausbildung und das werkstoffkonforme Fügen ohne Zusatzstoffe.

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