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Synergetik: Nichtgleichgewichte, Phasenübergänge und Selbstorganisation

✍ Scribed by Hermann Haken

Publisher
Springer
Year
1981
Tongue
English
Weight
972 KB
Volume
68
Category
Article
ISSN
0028-1042

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## Abstract Die Mikrostrukturen und damit die makroskopischen Eigenschaften von Hartstoffschutzschichten hängen beim Magnetronsputtern mit Ionenplattieren entscheidend von der Energie der Plattierionen e·U~pl~ und dem Quotienten J~pl~/J~sb~ der Flüsse der Plattierionen und der schichtbildenden Teil