Strukturdefekte in versetzungsfreien Silizium- Einkristallen aus der tiegelfreien Zonenziehtechnik
✍ Scribed by Dr.-Ing. W. Schröder; K. Jegerlehner
- Publisher
- John Wiley and Sons
- Year
- 1974
- Tongue
- English
- Weight
- 575 KB
- Volume
- 9
- Category
- Article
- ISSN
- 0232-1300
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✦ Synopsis
Abstract
Versetzungsfreie Siliziumkristalle, die tiegelfrei gezüchtet werden, zeigen eine Defektstruktur, die auf eine in Abwesenheit von Versetzungen sich einstellende Leerstellenübersättigung zurückgeführt wird. Die Defektstruktur wird schliffbildlich und röntgentopografisch nachgewiesen. Eine wesentliche Rolle scheint der noch in den Kristallen vorhandene Sauerstoffgehalt zu spielen.
Die versetzungsfreien Kristalle wurden autoradiografisch und mittels Ausbreitungswiderstandsmessungen hinsichtlich ihrer chemischen Homogenität untersucht. Die Einsetzbarkeit von versetzungsfreiem Material in der Bauelementeentwicklung wurde geprüft.