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Simulation von Plasma-Beschichtungsprozessen : Ein neues Design-Werkzeug für die Vakuum- und Plasmatechnik

✍ Scribed by Andreas Pflug; Michael Siemers; Christoph Schwanke; Bernd Szyszka


Book ID
111702616
Publisher
John Wiley and Sons
Year
2010
Tongue
English
Weight
346 KB
Volume
22
Category
Article
ISSN
0947-076X

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