Reaktionskontrollierte chemische Gasphasenabscheidung von Silicium durch Pyrolyse von Silan

✍ Scribed by Dr. Heinz Kühne

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1992
• Tongue: German
• Weight: 224 KB
• Volume: 64
• Category: Article
• ISSN: 0009-286X
• DOI: 10.1002/cite.330640330