Qualifizierung einer neuartigen Korrosionsschutzbeschichtung für den Einsatz von Turbomolekularpumpen in der Halbleiterindustrie. Qualification of a novel Coating for Corration Protection Applied to Turbomolecular Pumps in Semiconductor Industry

✍ Scribed by Michael Froitzheim

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2002
• Tongue: English
• Weight: 881 KB
• Volume: 14
• Category: Article
• ISSN: 0947-076X
• DOI: 10.1002/1522-2454(200204)14:2<69::aid-vipr69>3.0.co;2-l