Präzisionsverschleißmessung an dünnen Schichten als Mittel zur Qualitätssicherung und Schichtcharakterisierung

✍ Scribed by M. Eder; R. Bethke

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2000
• Tongue: English
• Weight: 109 KB
• Volume: 31
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/1521-4052(200012)31:12<1056::aid-mawe1056>3.0.co;2-n