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Prozeßmodellierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie

✍ Scribed by Dipl.-Phys. Martin Dauelsberg; Prof. Dr. Dr. h.c. Franz Durst; Dr. Lew Kadinski; Dr. Yuri N. Makarov

Publisher: John Wiley and Sons
Year: 1997
Tongue: German
Weight: 862 KB
Volume: 69
Category: Article
ISSN: 0009-286X
DOI: 10.1002/cite.330690705

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