โ Scribed by Dr. G. F. Bastin; Ir. H. J. M. Heijligers
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5.104 m d r a d eingestellt werden. Abbildung 9 a zeigt das winkeldispersive Spektrum in der Nahe der Kohlenstoff-K-Kante eines 60 nm dicken Kohlefilms. Deutlich erkennbar ist das erste Maximum durch Anregung von x-Ubergangen sowie die Streuwinkelverteilung von Einzel-elektronenstoBen (Compton-Streuung) beiderseits der Hauptintensitat. Im Spektrum der A1203-Oberflachenplasmonen einer 15 nm-Al-Schicht (Abb. 9b) ist bei hoher Winkeldispersion die Aufspaltung der Winkelverteilung in den symmetrischen w+-und den asymmetrischen o--Schwingungsmode zu beobachten. Zusammenfassung Die vielseitigen Einsatzmoglichkeiten eines abbildenden Energiefilters fur die Untersuchung materialkundlicher Proben in einem Transmissionselektronenmikroskop (Kontrast-und Auflosungsverbesserung bei Abbildung dicker Objekte, EELSund Mapping-Analysentechnik, die Untersuchung elastischer und unelastischer Streuprozesse in kristallinen Proben und deren Bedeutung fur die Kontrastentstehung) stehen heute der materialkundlichen Forschung, die auf Beschleunigungsspannungen uber 100 kV angewiesen ist, leider nicht zur Verfugung. Es ware wiinschenswert, dal3 kunftig auch kommerzielle Hochleistungsgerate im Mittelspannungsbereich mit abbildenden Energiefiltern ausgestattet wiirden. Der hohe instrumentelle Aufwand ist sicher durch die zahlreichen Anwendungsmoglichkeiten, von denen nur einige vorgestellt wurden, zu rechtfertigen.
Literatur
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