Plasmagestützte reaktive Abscheidung von Verschleißschutzschichten auf der Basis des Stoffsystems Bor-Kohlenstoff-Stickstoff (BxCyNz)

✍ Scribed by S. Kleinsteuber; D. Rathjen; J. Scheinpflug

• Book ID: 101309853
• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1999
• Tongue: English
• Weight: 144 KB
• Volume: 30
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/(sici)1521-4052(199901)30:1<14::aid-mawe14>3.0.co;2-7