Plasmaborieren – Untersuchungen zum Einfluß der Glimmentladung beim Borieren in einer BCl3-H2-Ar-Atmosphäre

✍ Scribed by E. Rodríguez Cabeo; K.-T. Rie

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 2000
• Tongue: English
• Weight: 221 KB
• Volume: 31
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/(sici)1521-4052(200005)31:5<345::aid-mawe345>3.0.co;2-w