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Phasenübergangsextraktion: Experiment und Simulation

✍ Scribed by J. Castro Arce; A. Schaadt; H.-J. Bart


Publisher
John Wiley and Sons
Year
2004
Tongue
German
Weight
101 KB
Volume
76
Category
Article
ISSN
0009-286X

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## Abstract Die Mikrostrukturen und damit die makroskopischen Eigenschaften von Hartstoffschutzschichten hängen beim Magnetronsputtern mit Ionenplattieren entscheidend von der Energie der Plattierionen e·U~pl~ und dem Quotienten J~pl~/J~sb~ der Flüsse der Plattierionen und der schichtbildenden Teil