Peculiarities of the cross-section in chemically prepared SnO2- and SnO2:Sb layers

✍ Scribed by B. Dogil; F. Froissart; Dr. A. J. Horodecki; W. Precht

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1984
• Tongue: English
• Weight: 348 KB
• Volume: 19
• Category: Article
• ISSN: 0232-1300
• DOI: 10.1002/crat.2170191108

✦ Synopsis

Layers of pure as well as Sb-doped tin dioxide have been prepared wing intentionally sirnple modification of CVD technique. By electron microscopy of cross-section, a t least two sublayers have been observed in samples of thickness of a few micrometers in both of the cases. Their formation is thought t o be associated with small perturbation of thermodynaiiiical equilibrium arising due to t h e layer growth.

Durch eine sehr einfache CVD-Technik wurden reine bzw. Sb-dotierte Sn0,-Schichten erhalten. Mit Hilfe der Elektronenmikroskopie konnten zwei oder mehrere Subschichten in Proben von einigen Mikrometern Dicke beobachtet werden. Unter der Annahrne kleiner Stiirungen des therniodynmnischen Gleichgewichts durch tlas Schichtenwachstum wird die Ursache fur das Auftreten tlieser Subschichten diskutiert.