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Optisch dünne Schichten mit kontrollierten Eigenschaften durch plasmaunterstütztes Magnetronsputtern

✍ Scribed by Oliver Werner; Frank Neumann; Thomas Neubert; Michael Vergöhl


Book ID
111702515
Publisher
John Wiley and Sons
Year
2009
Tongue
English
Weight
429 KB
Volume
21
Category
Article
ISSN
0947-076X

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