Obtention de films étain-azote par pulvérisation cathodique réactive-identification de la phase amorphe Sn3N4

✍ Scribed by J.C Remy; J.J Hantzpergue

• Publisher: Elsevier Science
• Year: 1975
• Tongue: English
• Weight: 652 KB
• Volume: 30
• Category: Article
• ISSN: 0040-6090
• DOI: 10.1016/0040-6090(75)90084-x