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Messung kleiner Schichtdickenunterschiede in dünnen nichtmetallischen Schichten

✍ Scribed by G. Koppelmann

Publisher
John Wiley and Sons
Year
1960
Tongue
English
Weight
442 KB
Volume
460
Category
Article
ISSN
0003-3804

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✦ Synopsis

Abstract

Es wird die Schichtdickenverteilung in dünnen, dielektrischen Schichten, deren Dicke sich von Ort zu Ort nur wenig ändert, mit hoher Genauigkeit bestimmt, indem das Reflexionsvermögen in Abhängigkeit vom Schichtort gemessen und auf Dickenänderungen umgerechnet wird. Die Meßanordnung wird beschrieben, das Ergebnis der Messungen für eine Kryolith‐Aufdampfschicht angegeben und daraus die Dampfstrahlcharakteristik der benutzten Verdampfungsöfen bestimmt. Ferner wird die Anwendung des Verfahrens auf Mehrfachschichten sowie der Einfluß der Dispersion der Schichtsubstanzen untersucht.

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