Laserinterferometer zur berührungslosen Messung von Längenänderungen im Nanometer-Bereich

✍ Scribed by B. Zagar; H. Weiss; D. L. Chen; H. Hödl; B. Weiss; R. Stickler

• Publisher: John Wiley and Sons
• Year: 1992
• Tongue: English
• Weight: 398 KB
• Volume: 23
• Category: Article
• ISSN: 0933-5137
• DOI: 10.1002/mawe.19920230603

✦ Synopsis

Abstract

Ein Laser‐Interferometer mit einem rechnergestützten Auswerteverfahren wurde in einer Prototypentwicklung an eine kommerzielle Zugprüfmaschine angepaßt und erprobt. Mit Hilfe von als Meßmarken dienenden Mikrohärteeindrücken erlaubt dieses Meßsystem. Abstandsänderungen mit einer Auflösung von etwa 1 Nanometer zu bestimmen. Die Funktionsfähigkeit dieser Meßanordnung wird an Beispielen der E‐Modulmessung der Bestimmung des Rißöffnungsverhaltens und des Wärmeausdehnungs‐koeffizienten von Cu‐Proben demonstriert.